目前世界上有多个国家自订有自己所属的洁净室规格，但普遍仍以使用美国联邦标准者为多，而整个洁净室之发展史已在前节中提及，现就209D及209E和ISO TC209以及世界上其他各国之所订标准做进一步之介绍与相互间规格内容之比较。表1-7为美国联邦标准209D 之洁净室规格。图1-4是将209D以图表之方式呈现。而图1-5 则为FS209B及FS209D洁净室等级图之关系。至于209E和209D最大之不同点在于209E是采用了公制单位，洁净室等级以 “M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3.....依此类推，其目的乃在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≥0.5μm 之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，而取其指数；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（亦即非整数），则以1.5、2.5、3.5.....等表示之。表1-8即为FS209E标准规范之内容。前述M字母后之数字，可从表中0.5μm栏中M3列之数值中求出，读者可试加以计算之。图1-6则为FS209D及FS209E之关系对照图。
美国联FS209D是以英制每立方英呎为单位且以0.5μm之粒径为计数基准，而日本之规范则是采用公制单位，亦即是以每立方公尺为单位，且以0.1μm粒径之微粒子计数标准，其表示方法为 Class 1、Class2、Class 3⋯⋯至Class 8，亦即最好之等级为Class 1，最差则为Class8，表1-9所示为日本JIS（B9920-1989）之规格。由表中可知，其 Class1、2⋯⋯8之数目字是以0.1μm 粒子基准，而将每立方公尺中微尘粒总数以10之幂次方表示，取其指数而得。图1-7为日本JISB9920之表示图。
至于德国其洁净室技术是世界上有名的，如现今在半导体和光电产业建厂设计规划领域之洁净室技术居于领先地位的M + W（Messiner +Wurst）公司即是其中之代表，加上德国工业和相关医学领域亦是属于领先地位国家之一，故洁净室之发展自不在话下，因此在1967年德国即制定完成了其洁净室规格，唯其等级之表示法与美国规格不同，是以4×10n之形式表示粒径0.5μm 以上之粒子数，1×10n表示粒径1μm以上之粒子数，表示式中之指数n即其规定等级，如4x103即为3级，此等级与FS209 Class 100
