容许较5.0μm大或比0.1μm小之微尘作等级之分别。

在ISO/TC 209 14644-2 洁净室测试程序内容中，其所含盖之测试包括了：①微粒子测试，②气压差测试，③风量风速量测，以上需每12个月执行一次。④过滤器泄漏量测，⑤气流动线观测（流场可视化），⑥洁净度恢复性能测试，⑦密封结构之泄漏测试共7项，而在14644-3中洁净室之量测与方法，共有14种测试，如下：

1.粉尘数计量以区别洁净等级

2.特小粒子粉尘（<0.1μm）之测试

3.大粒子粉尘（>5.0μm）之测试

4.风量

5.气压差

6.已装置过滤器之测漏

7.气流可视化

8.气流方向

9.温度

10.湿度

11.静电与离子产生器测试

12.粉尘之沉积

13.洁净度恢复测试

14.密封结构之泄漏测试（containment leak test）

以上之测试项目部份为14644-1及14644-2所规定，其余为非强制性之测试，使用者对品质之要求作测试项目之选择。ISO 14644-3规范洁净室之品质，而非洁净室内制程之品质，供应洁净室之厂商需与使用者协商洁净室品质之要求。

ISO 14644-4规范了洁净室之设计与建造，包含设计与建造各方面问题。ISO 14644-4 是洁净室设计与建造之重要入门，其首先对各参与部门之定位与职责做了说明，其中包括业主、供应商、顾问公司、法规单位及承包商。在测试验收方面共有三个不同阶段，一为建造安装规格验收，二为功能验收（as built, as rest），三为操作验收（Operation）。其设计建造之需求规范应含以下两方面之要求：

1.洁净室之用途

2.洁净室内之操作

设计参数应包括：

1.公用系统之需求

2.制程之支援

3.面积与各部位尺寸

4.全厂布置

5.物料与人员进出口

6.量测、监测与控制

7.外在环境之影响

ISO 14644-4共有八个附册，详细建议了设计准则、材料、验收阶段、安装布置、建造程序、环境控制与洁净控制等。

ISO 14644-5规范洁净室之操作，共有六方面之规范，说明如下：

1.操作系统，包括污染风险评估、训练程序、机械设备操作保养、安全与文件管控。

2.无尘衣之管理，包括使用适当之无尘衣，正确之布料、更换与清洗时程。

3.人员管理，如一般卫生、化妆问题，可进入洁净室人员之管理，及紧急状况之因应。

4.固定设备（stationary equipment）对污染可能之影响管理。

5.设备与材料之搬移，需控制污染之程序。

6.洁净室之清洁，如清洁方法、人员职责训练、清洁工作周期。