ISO 14644-6对一些洁净室之用词作出定义与说明，用于所有ISO14644与ISO 14698之文件，洁净室之专业用词与一般辞典有所不同，目前ISO 14644-6共有162项定义与说明。

ISO 14644-7提出各种围隔洁净空间（separative enclosure）在设计、建造、安装与测试之最低需求规范，主要在其有异于一般洁净室之处。ISO 14644-7针对影响围隔洁净空间洁净品质各项因子，提供使用者与建造者在设计等方面之参考。

ISO 14644-8将分子污染分等级，并提供测试与分析污染浓度至10^-12g/m³之方法。在本文件中AMC（Airborne Molecular Contamination）空气中之分子污染，可为气态或液态，对产品、制程或仪器有害化学成份，SMC（Surface Molecular Contamination）为附着在产品或仪器表面之分子污染。

ISO 14644-8分子污染等级之辨识系统如下：

AMC.ISO Class N:a;b; (c); (d)

N=浓度（g/m³）之对数指标

a =化学种类，如acid，base，organic（condensable），inorganic

(dopant)

b=量测方法（取样与分析）

C=化学分类（延伸选项）

d=时间（延伸选项）

ISO 14698共有三个文件，分别为14698-1、14698-2及14698-3分述如下：

ISO 14698-1说明了评估与控制洁净室生物污染之原理与基本科技，针对洁净室与相关控制环境提供指导方针。ISO 14698-1提供正式之评估系统，用于评估洁净室内微生物之危害，要求指出潜在危害、发生机率、风险区域、防患措施、控制之极限、监测时程、动作修正、训练与正确之文件管控。生物污染可存在于空气中、物体表面、衣着，也可为液态状态。故生物污染之取样计划应包括洁净室之空气、墙面、地板、天花板、制程设备、材料、制程气、液体、家具、储存物及无尘衣。

ISO 14698-2提供微生物分析之基本原理与方法，用于分析与评估自洁净室风险区取样之微生物资料，提供取样技术、时间因素、培养菌技术、及分析方法。

ISO 14698-3 提供量测清洗非活性表面效率之实验方法。