相近似。表1-10为德国洁净室规格及其与美国、法国近似等级之表示。图1-8则为日本、美国、德国其洁净室洁净度标准之比较图，由图中可看出日本规格中之等级5和德国规格等级3美国联邦标准等级100相近似。表1-11为美国FS209D在各不同等级时，其不同粒径粒子数目之上限值（个/ft3）一一以0.5μm之粒子为基准时，而括弧中之数值是以个/M3为单位之数量。由于美国与日本之规格中所表示之单位分类不同，为使工程人员能快速获知二者之间之相近等级标准，以期于工作中能相互参考并避免混淆，故有必要美国和日本之间标准规范做一对照比较，如表1-12所示。
除了美国、日本、德国之洁净室标准外，世界上尚有英国、法国、澳洲及韩国、中国大陆之规格，表1-13 即世界各国洁净度等级规格之比较。
除以上所谈之各国所订标准规格之外，在1993年国际标准化技术委员会（International Standardization Organization Technical Committee-ISO/TC）亦拟定洁净室之新标准规范，代号ISO/TC209（亦称ISO14644及ISO14698），并自1998年开始实施推广使用。ISO洁净室之标准称为洁净室与相关控制环境（Cleanrooms and Associated Controlled Environments），共有二个系列之标准文件，一为14644 系列，另一为14698系列，14644规范分别为洁净室等级（14644-1）、符合14644-1等级之测试与监测规格（14644-2）、量测与测试方法（14644-3）、设计与监造（14644-4）、洁净室运转（14644-5）、名词、定义与单位（14644-6）、围隔之空间（如洁净气罩、手套箱、隔离装置与微环境（14644-7）、空气中分子污染等级（14644-8），而14698则规范生物污染（Biocontamination）之处理。ISO14644-1 中空气洁净室等级共分九个等级，采公制单位（SIUnit）以0.1μm 为粒子计数标准，并以每立方公尺中所具有之粒子数目取10之幂次方为表示式，取其指数，以代号ISO-1、ISO-2⋯⋯ISO-9式之，此与JIS标准接近。表1-14为其标准内容；而表1-15则为ISO/TC 209和美国联邦标准 FS209D、FS209E之规格比较，其中ISO
