由前面之章节可得知气体供应之重要性和其所特具之危险性，因此在规划和设计须特别注意。尤其是在经费和安全性上如何取得最佳平衡，是为设计工程师的挑战与追寻目标，若是在经费许可，则考虑二重、三重甚或四重之保护。气体供应品质之控制则是设计时另一项重要考量，在管路与零组件之材质选择、运送包装、施工组装、管路清洁、测试检验，乃至于日常管理，每一个环节的精确要求皆与供应之品质息息相关。另外为避免已供气之管路再次施工时之危险性，不能任意之修改或切管，而是于设计时预留适当之阀件或管路以利未来生产扩充之所需。

当工厂内洁净室各制程区之规划确定后，气体供应室之选择即可进行确认，与使用点近，有独立之结构与空间区隔，避免与主厂房使用同一结构体，若是无法避免，则防爆区隔之规划设计绝不可免，以降低运作时对整厂之风险。另外独立之空调送风系统，供应室的负压设计以防止气体泄漏后溢散出外界；另外电力系统之规划亦需设计独立之电源和装设UPS系统，连接紧急发电机电源；在可燃性气体供应室之电源照明系统则采用防爆系统，以维安全。总之气体供应之规划设计需依制程上之需求和实务上之状况，进行广泛和深入之讨论，以符合生产上之实际需要，使设计合理化，达到真正经费与安全的最佳平衡和最佳设计，使危险之发生机率降至最低。