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真空泵和真空系统-3
来源:专业书籍整理归纳 | 作者:Wiiliam | 发布时间: 2021-05-21 | 419 次浏览 | 分享到:

真空装置中各种材料放出气体量


材料
处理
放出气体量【torr*l/s*cm2】
耐热玻璃（pyrex）
-
10-6~10-8
耐热玻璃
400℃脱气

~10-15（HE）

~10-18（H2O）

不锈钢
-
10-6~10-8
不锈钢
研磨，脱脂
~10-9
不锈钢
250℃脱气
~10-11
不锈钢
400℃脱气
~10-15（大部分CO）
镀镍的钢
-
~10-7
生锈的软钢
-
10-6~10-7
人造橡胶（neoprene）
真空中脱气
10-5~10-6
特氟龙（teflon）
加热脱气
10-7~108
维通（viton）
真空中脱气
~10-7