设为首页|加入收藏
   
搜索

 ​​启闳半导体科技（江苏）有限公司QiHong Semicon TECHNOLOGY (JIANGSU) CO.,LTD

电子邮箱  
密码      忘记密码？
  注册
首页 >> 交流学习 >> 真空泵和真空系统-3
真空泵和真空系统-3
来源:专业书籍整理归纳 | 作者:Wiiliam | 发布时间: 2021-05-21 | 420 次浏览 | 分享到:

真空装置中各种材料放出气体量


材料
处理
放出气体量【torr*l/s*cm2】
耐热玻璃（pyrex）
-
10-6~10-8
耐热玻璃
400℃脱气

~10-15（HE）

~10-18（H2O）

不锈钢
-
10-6~10-8
不锈钢
研磨，脱脂
~10-9
不锈钢
250℃脱气
~10-11
不锈钢
400℃脱气
~10-15（大部分CO）
镀镍的钢
-
~10-7
生锈的软钢
-
10-6~10-7
人造橡胶（neoprene）
真空中脱气
10-5~10-6
特氟龙（teflon）
加热脱气
10-7~108
维通（viton）
真空中脱气
~10-7


真空装置的泄漏容许量


装置
泄漏容许量【torr*l/s】
冻结干燥装置
10-2
分子蒸馏装置
10-3
有泵的水银整流器
10-4
高真空排气装置，原子能关系机器
10-5
真空冶金装置，电冰箱
10-6
回旋加速器（cyclotron）等粒子加速器
10-7
大型超高真空装置
10-8
真空断热装置
10-9
小型超高真空装置
10-10~10-11
电子管
10-12