真空泵大致的分类：
1.气体转移式：【位移】滑动翼转动泵（sliding-vane rotary pump）、转动柱塞泵（totray pump）、卢茨泵（roots blower，roots pump）、水环泵（water ring pump）、活塞泵（piston pump）、隔膜泵（diaphragm pump）
                       【动力】扩散泵（diffusion pump）、喷射泵（ejection pump）、涡轮分子泵（turbo molecular pump）、分子拖曳泵（molecular drag pump）
2.气体凝集式：吸收泵（sorption pump）、冷冻陷阱（cold trap）、冷冻泵（cryopump）、溅基离子泵（sputter ion pump；SIP）、钛升华泵（titanium sublimation pump；TSP）、非蒸发吸气泵（non evaporable getter pump，NEG）

真空压力的分类：
1.粗真空（rough vacuum）：760~1 torr
2.中度真空（medium vacuum）：1~10-3 torr
3.高真空（high vacuum）：10-3~10-7 torr
4.超高真空（very high vacuum）：10-7~10-9 torr
5.极高真空（ultra high vacuum）：10-9 torr以下