此节对于本书曾提过的其他无尘室主题，进行介绍。

黄色照明区域

将精细的图样进行转印的光蚀刻区域中，使用了称为光阻的感光材料，故此区的照明，必须除去能对光阻造成损害的500 mm以下的光及紫外线，一般使用光色荧光灯管。近年来，考量LED的高辉度、低耗电、长寿命等优点，黄色LED（发光二极体）也逐渐被使用。

碱性禁止的区域

设计尺寸在0.25 μm以下的超级LSI的光蚀刻制程中，使用准分子激发雷射光（K:F或AIF）来进行图案转印。又在光阻方面，则使用对这类光源拥有高感度的“化学增大型光阻”。

如图6-13-1所示，此光阻类型由作为光酸发生剂的感光剂、拥有碱性不溶保护基的聚合物树脂、及有机溶剂形成。曝光时，感光剂由于具有化学活性而产生“酸”，接着利用此酸作为触媒，产生光阻的连锁反应，使聚合物转变成碱性可溶性。

因此，在碱性离子禁止的区域，光蚀刻区域多使用化学滤网，同时，针对墙壁等建材的选择亦必须相当的用心。

能够携带进入无尘室的特殊纸张

若需在无尘室内作笔记，一般的笔记本（纸）因为会产生粉屑，是无法携入的。在无尘室里面能使用的纸张为具有特殊导电性机能的无尘纸，及原子笔。

盐分伤害及火山灰的影响

当半导体工厂距离海岸或火山较近时，盐分及火山灰可能带来重大的影响。例如，当台风来临时，带有大量盐分的风雨或火山灰，可能污染或阻塞用来过滤无尘室空气的滤网，而对无尘室造成损害。遇到这种状况时，必须将生产线停止，对滤网进行清洗或更换，才能重新复线。