半导体生产线的无尘室必须维持极为洁净的环境。想当然尔,不能穿着一般的服装进入。这是因为人体会产生各种粒子及不纯物,包括从衣着上掉落的尘埃、呼吸所含有的水雾、汗水所含有的离子、女性化妆品的剥落等。
因此,进入无尘室,必须进行一定的准备与手续。此手续视生产线的洁净度不同而有出入,在此就一般标准性的进入无尘室的范例,让各位进行模拟体验。
首先必须在无尘室所附属的更衣室,脱去室内服、上衣、毛线外套等。特别注意上衣及毛线外套是因为考量静电的发生。
其次,在更衣室中,穿上完成洗净的特殊材质的无尘服。图6,10.1显示了代表性的无尘服。在此,(a)指能够对应等级1~10的屏蔽头盔型、(b)指对应等级10~100的高等级型。
像科幻小说中的无尘室的世界
首先戴上口罩,并从头整个套上仅露出脸部的风斗状的帽子。接着,将袖口及裤管以松紧带束紧的一件式无尘服,从身体部分附有的拉链处拉开,将两脚、身体、两手依序穿入,并拉上拉链。此时需注意将帽子的边缘收进无尘服的领子内,并以附着的魔鬼毡固定。接着,将开口部束有松紧带的足套与无尘服重叠后,穿上经过抗静电处理的导电鞋。
接下来,在自动洗手机依序以纯水、洗剂、纯水将手冲干净,以空气烘干机干燥之。将手洗干净以后,套上经过特殊抗静电处理的防尘手套。到此为止更衣结束。
接着进入通往无尘室的空气淋浴室。进入的人数有限制。按下开关门即开启,进入后门即关闭。有点像科幻世界。
空气淋浴从天花板及两侧喷出,但双手轻拍全身,身体转圈2~3次,为使粉屑、灰尘能够有效地掉落的秘诀。掉落后的异物由地面排出。接受一定时间的空气淋浴后,淋浴将自动停止,打开门即是无尘室。