在半导体的制造过程中,许多的制程阶段均会完全进行检验,在此谨针对完成包装之后的“产品检验工程”来进行了解。
后段制程完成后、并完成包装的产品,为了确保可靠性,将进行高温、高电压的条件等驱动,使初期故障极早发生而除去之。这种测试方法称为“通电烧机(burn-in)”,或称为BT(BiasTemperature)测试。
动态、静态测试两者皆进行
在通电烧机系统中,如图5-1-1所示,装置有拥有高温槽的烧机装置、用来搭载包装产品的烧机用基板、拿取用的包装插拔机等。
通电烧机系统除了有能够控制温度的高温槽,还有能够放入数干个半导体产品并且将之驱动、监控用的测试机功能的数十枚的烧机用基板。烧机用基板有许多专用的接口,以称为插拔机的自动拿取机器人来对包装半导体进行插拔测试。
针对逻辑类半导体的烧机,仅以在高温状态下加以一DC直流电压而不使其电路作动的“待机烧机”为普遍。
但针对记忆体类的半导体,则是在高温状态下除了加以一DC直流电压外,还加一AC电压讯号使其作动,进行“动态烧机”。此外,也有一种除了动态烧机之外,还发展成拥对输入端子加以clock讯号,一边使内部电路作动,一边监控并判定输出端子状态的“监控烧机”。
再者,还有将监控机能进行发展,使能一边加以电压一边分别在高温与低温下储存一段时间后,进行简单的特性测试,重覆多次以降低测试机的负荷的测试烧机。
图5-1-2所示,为代表性的记忆体产品DRAM的包装检验制程的范例。在此范例中,监控烧机及测试烧机的两者均能适用,此后以高温及低温进行筛选,并依照产品规格进行入库检验。
到此为止的检验均为所有检验。入库后的产品在出货之前进行抽样检验的“出货检验”中,损伤、脏污,引线形状、油墨印刷状态等外观检验外,还会进行导电性测试。