电子等级

在拥有超精细构造的半导体制造中，所使用的各种药液及气体亦需要极高等级的纯度。一般称为“电子等级（Electronicsgrade）”，亦简称为EL等级、电子级、EL级等。然而，这些称为电子等级的材料，纯度究竟如何呢？

图4-9-1显示正型光阻用的高性能显影液的检验项目以及品保值。色度又称为APHA，以碳酸盐类CO₃^2-换算表示。液体的颗粒数，粒径在0.3μm以上者列入计算。其他各种金属不纯物的规定，则为钠（Na）于10 ppb以下、其他于3 PPb以下。

图4-9-2显示几种代表性气体（部分以液化气体的形式购入）的纯度。以油罐车大量购入的液化氧 （liq.O₂）及液化氮（lig.N2），纯度则分别为2N6及5N。N为9（nine）的意思，2N5则代表99.5％的意思。

此外，数个中空容器固定在一起的气体供应装置（钢瓶组），以此状态购入的氢（Ar₂）与氢（H2）分别为4N及5N。其他以钢瓶型式购入的各种气体中，三氟化氮（NF₃）为4N、氯（Cl2）等为5N、矽烷（SiH₄）等为5N5、氦（He）等为6N、四乙氧基矽烷（TEOS）为7N5。

图4-9-3显示用于蚀刻或腔体内壁的干洗净等用途，三氟化氮（NF3）检验项目及品保值。纯度为4N（99.99%）以上、二氧化碳（CO2）、水、一氧化二氮（N20）为500 ppm以下、六氟化硫（SF₆）为10 ppm以下、氧十氢（02+Ar2）为15 ppm以下、氮（N2）为20 ppm以下。

为了维持药液及气体的纯度，除了制造完成，其他包括储存用的容器、从制造工厂运送到半导体工厂的过程，均需要谨慎的注意。我曾经经历过一个案例，因光阻异物，造成半导体工厂完全无法产出良品。我与半导体厂一起理清原因、调查真相，才发现是光阻容器的内壁于运送过程中剥落，掺入光阻液，形成污染源。