各个工厂、各 IC需求不同
水中所含不纯物极少的水,称为纯水。将此纯水更进一步纯化后的水,称为“超纯水”,取“UltraPure Water”的开头字母缩写为UPW。
图4-7-1所示为超纯水的供应系统。依工厂的地理条件等不同,使用的天然水有工业用水、河水、地下水等。
超纯水的制程必须依天然水的水质而进行最佳化。又,视该生产线所生产的产品(半导体种类)的不同,而有不同超纯水规格要求。
将天然水转换为超纯水的过程,首先必须借由凝结浮上设备及过滤器,去除天然水中不溶于水的浮游物质(又称为SS:SuspendedSolids)。接着经由去炭塔,将水的碳微粒去除。
接下来,利用逆渗透的RO设备(RO: Reverse Osmosis逆渗透膜)将水中不纯物去除,并由离子交换树脂将金属离子去除、经由U>(紫外线)照射将有机物分解去除、经由真空脱气将氧气等气体去除,重复此程序,最终透过超微细滤网(UF: Ultra Filter),提供到各个给水点。
超纯水的供应速度为每秒1.5m
由于完成转换超纯水在输送到各个给水点前,必须避免碰触到空气、或受到配送管线或储水槽的污染,经固定时间或视需求,必须以过氧化氢(H202)将配送管线进行清洗,再以UPW置换。
再者,超纯水的输送过程中,一旦流速减缓则易生污染,故必须维持每秒1.5 m的恒定流速。
上述为一般将新送入的天然水,转换成超纯水的纯水供应系统主要流程,使用完毕的回收水,也可透过同样的流程进行再使用。换句话说,从给水点回收的水,透过活性碳塔、离子交换塔、RO设备、UV氧化槽、过氧化氢(H202)去除塔等路径经过处理后,可被导引回到主流程,进行再利用。
超纯水的输送量视工厂的规模而有不同,但可以略估计为每日数千吨的数量级。