在半导体生产上的设备稼动率，显示“设置于生产线的设备是多么有效地被运用”的重要指标。这样形容，各位对于设备稼动率这个不熟悉的名词，应能有印象。然而，设备稼动率这个概念，本身不是那么自然容易明了的。此节对于设备稼动率的具体意义，以及对于生产有什么样的影响，做一个说明。

设备稼动率的关联

某一台设备在一定的期间内，例如一个月的期间内，使用在制作实际产品的时间合计，称为“实际稼动时间”。此外，在同一期间内，设备能够处理产品的合计时间，称为“稼动可能时间”或“时程表上的稼动预计时间”。此处的稼动可能时间指的是，同样期间内的合计时间“实际时间”，减去设备无法使用在处理产品上的时间“无法稼动时间”，所得到的值。也就是以下的关系式。

稼动可能时间=实际时间-无法稼动时间

此处的无法稼动时间，包括“故障”、“暂停”、“准备”、“维修点检”、“定期修理”。也就是以下的关系式成立。

无法稼动时间=（故障+暂停+准备＋维修点检＋定期修理）的合计时间

此处的“暂停”，并非指真正的故障，而是为了处理一次性的机械问题，而中止或重新开机等短时间的停止动作；而“准备”指的是为了处理实际产品所需要的先行准备作业。也就是说，稼动可能时间，显示设备本身维护状态的良好与否。

由此可得设备稼动率的公式如下：

稼动率=实际稼动时间/稼动可能时间

由此可见，以产线上流动的产品的生产性观点，来思考稼动率，必须注意几个面向。也就是说，处理同一制程的多台的设备群的平均稼动率、以及这些设备群间的变异出入，将是生产线速度控制的一大影响因素。