0.2微米之微粒子。处理之出水进入废水中和池，再与含氟之处理水一起进行中和达标准后再排放之。

8.卫生及生活污水：此污水包括餐厅污水和卫生间污水等，其处理方式已在5-3节提及，此处不再说明。

9.高浓度有机废水：在液晶显示器厂中，使用有高浓度之有机化学品，作为制程之剥离剂和洗净剂，此化学品简称DMSO（DimethylSulfoxide二甲基亚；（CH3）₂SO），是为一具高浓度之有机物，故其使用后所排放之废水，除部份作收集回收再制处理外，大部仍以废水排放至废水处理系统。而此高浓度之有机废水非用一般之处理方式可加以处理，而是以生物细菌处理之方式处理。其处理流程如图5-9所示；而图5-10 则此系统主设备BCF（Biological Contact Filter生物膜过滤槽）之构造，此系统可使DMSO完全分解，浓度降低至0.5ppm以下，而图5-11为TFT-LCD 厂废水处理流程图。

10.回收水处理：在台湾由于水资源管理不善，加上近几年来全球气候异常，台湾之降雨量偏低，使每年各水库之储水量大降，基于节约水资源之概念，科学园区各厂商在考虑自身需求和用水安全下，各高科技厂均设有回收水处理系统，一则合乎园区管理局之规定，另一则可减少用水量，目前园区规定制程之回收水率，旧厂须达70%，而新厂则须达85％以上，此对厂商而言是一大考验。一般回收水，除了空调冷凝水、冷却塔排放水、制程Rinse后之排水、无机废水及有机废水经生物处理过之废水再回收处理后之水均含在内，甚至雨水收集系统亦是一大回收水源。