冰水是制造并提供给空调及厂务系统所需之低温冷水，冰水系统产生冰水过程中所释放之热由冷却水系统带走，并借由冷却水塔将热释放于大气中。

由于大冷冻吨之需求，故冰水主机均采用高效率之水冷离心式机，而冷媒采用不含氯不会造成臭氧层破坏的HFC-134a或123冷媒。在冰水机数量之计算上一般是采用极端夏日温湿度条件，以符合洁净室全量运转之需求，不至于因夏日于极端气候时产生冰水不足之情形。设计上配置一部备用冰水机以备冰水机维修时填补之用。附属之设备如冰水泵、冷却水泵、冷却水塔等均依此概念作规划设计。有时为求节约能源而采用热回收式冰水主机，以减少热水锅炉之负载。

冰水泵之设计采用一次侧定流量，二次侧变流量之方式，并以可调式变频器配合差压感测器将二次侧泵浦维持在较低之转速以节省能源。冰水及冷却水之流速以2~3m/s为依据参考，以节省设备设置成本和运转成本。