SUS316LBA规范以上）为主。至于槽车之充填供应，是由化学品生产工厂或分装厂直接以槽车运送并灌充入使用工厂之缓冲槽或固定槽中，由于其是以货运车载送，故在安全性考量和槽车本体容器之抗化学品性质上须考虑长期抗力，槽车其内衬材质与桶装相同。图3-7为槽车充填架构图。

4.控制单元：化学品供应系统另一不可或缺者即为系统控制单元。此控制单元除了监控供酸程序状况外，品质、流量和压力、安全是另外之监测重点。化学品供应系统如何知道何时须供应至制程机台及何时停止，在于供应系统和制程设备二者之间的界面讯号建立，一般而言不同之化学品及制程机台有不同之供酸方式。一般其界面讯号有四种：

（1）供应系统正常：指化学品供应系统可正常供应化学品。

（2）供应系统异常：指化学品供应系统异常无法供酸。

（3）供酸需求：指制程机台需酸讯号。

（4）制程机台异常：指制程机台异常或漏酸不需供酸或停止供酸。

一般化学品供应系统是在当制程机台传送需求讯号时，供酸才会正式供酸动作至制程机台之缓冲槽或化学站酸槽。至于当供酸系统之测漏感应器装置侦测到有漏酸之讯号时，供酸动作将全面停止，系统会处于中断状态。