化学品供应管路之材质依化学品之化性不同而使用不同之管材。酸碱类之配管材质以PFA Tube为主，外衬透明之UPVC管，属双套管式，此作用在于预防酸液漏泄时可留置于管路内避免伤及人员与制程设备；而有机溶剂类则以SUS316LBA以上规范为管材，在管路之中段均设置有分配供应阀箱（VMB:Valve Manifold Box），以利连接至多台之制程设备。管路施工时所使用之垫片类材质为氟化橡胶或铁氟龙，以避免被脆化变质，另外危险性化学品如高挥发性化学物质其系统与接头要接地，避免静电火花之发生。

化学品供应系统设计时，有如下之要项须注意，即储存系统、输送方式、微污染控制、空间管理、系统稳定性、价格成本、用量运转管理、品质控制和安全性。在安全性方面，特别是有机溶剂之供应必须在单独之隔离室，供应系统外壳以不锈钢制作，电气设施含室内照明、开关、插座等均须使用防爆式，供应系统内部装设CO₂自动灭火系统；电子仪器控制系统和电气开关最好移至室外与化学品系统隔离，若能以N₂随时Purge 最佳，而阀件控制更要以CDA 或
N₂取代电气控制，以确保有机溶剂供应系统之安全。

使用中央自动供酸系统供应化学品几乎是现有半导体厂和液晶显示器厂所采用之方式，不管8"、12"或各世代的TFT-LCD 之生产，对化学品的要求不仅在需求量日益增加，品质的要求也愈来愈高，在化学品来源方面，槽车及混合方式将渐渐取代桶式，而备用泵浦和泵浦之定期维修是维持正常供酸的要素，系统安全设计和供应空间适当的布置规划，是化学供应系统另一重要法门。