在高科技产业制程上，纯水一直扮演重要之角色，水一旦中断供应，影响的是整个生产线的停顿；水品质出了问题，冲击的不止是产品的报废，良率的降低以及生产成本的增加，相对的对客户产品的递延所导致的商誉损失才是对公司最大的致命伤，因此超纯水系统的运转管理无形中增加了其重要性。

除了24 小时的轮值执行运转外，对系统设备的一、二级保养以及三级以上保养的规划，品质监视仪器的随时查视记录，定期校正是为必要之道。

一间高科技生产工厂中，自来水之总用量在纯水系统中占了主要之角色，由于高科技厂房晶圆尺寸或玻璃尺寸的极大化以及制程技术的发展，在线径的极小化下，用水量之增加已呈数倍量之成长，此用水成长量已超过台湾现有水资源所能负荷，各地区季节性的缺水已常发生，因此对水资源的控制以及水回收，已是各高科技产业者之共识，此回收系统将于另一章废水处理系统中再述，在此不再说明。总之重要的是在整个超纯水制造系统设计规划之初，就须考虑到回收，减量及污染防治之需求，以符合整体生产之经济效益。