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InGaAsN 量子井面射型雷射
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2025-02-07 | 96 次浏览 | 分享到:

时添加锑原子并发现能显著改善磊晶品质,该团队并在2003年首次成功制作GaInNAsSb-GaAs 面射型雷射,发光波长1.287μm,室温下连续波电激发光操作,在氧化局限电流孔径9.4μm 的元件其阈值电流值为2.5mA,氧化孔径7μm 的元件阈值电流值为1.850.15mA,最大功率可达1mW。不过该元件虽然也是全磊晶结构,但是磊晶成长过程较为复杂,主要分成三个步骤进行,上下 DBR 30.5n型和28p Al0.9Ga0.1As-GaAs 分别以MOCVD进行磊晶成长,中间的2λ共振腔中包含Ga0.63In0.37N0.012As0.972Sb0.016/GaN0.019As0.981 三重量子井另外以 GS-MBE 成长,该成果证实GaInNAsSb 在长波长面射型雷射上的应用确实可行。

史丹佛大学J.S. Harris 教授团队在 2003年也利用MBE 系统在砷化镓基板上成长InGaAsNSb 五元化合物导体面射型雷射,将发光波长进一步往1.55微米范围延伸。其发光层为三层 7nm  Ga0.62In0.38N0.016As0.958Sb0.026量子井被 20nm GaNAs隔开,上下分别由29n型及24p型掺杂的Al0.92Ga0.08As/GaAs DBR所组成,元件发光波长1.46μm是当时在砷化镓基板上所能获得最长发光波长的面射型雷射纪录,在-10°C温度下可以脉冲操作电激发光,阈值电流值为580mA,在0°C时阈值电流值为700mA 。在2006年时该团队同样在砷化镓基板上成长全磊晶结构面射型雷射,发光层为三层7.5nm Ga0.62In0.38N0.03As0.94Sb0.03量子井被21nm GaN0.04As0.96区隔开,借由选择性氧化制程保留 14μm电流孔径,可以在-25°C电激发光操作,波长为1534nm 。在2009年时采用三层 7nm  Ga0.59In0.41N0.028As0.946Sb0.026量子井并以20nm 厚的应变补偿(strain-compensating