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静电放电离子注入技术
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-09-19 | 451 次浏览 | 分享到:

Ipw,电流Ipw流过PW的寄生电阻Rp,从而造成PW的电压Vb升高,当电压Vb=IpwRp>0.6V时,源极的有源区与PW之间的pn 结正偏,也就是NPN 的发射结正偏,这时 NPN开启导通形成低阻通路,进行 ESD放电,从而保护 LDD 结构,防止尖端放电击毁器件。