零排放(Zero Emission)是指为了实现回收性循换社会,由联合国大学于1994年提出此一概念。
此概念将产业活动所排放的各种废弃物及副产品有效活用,达到提升资源使用效率目的,进而使废弃物的最终处理量降为零。
N社熊本工厂的零排放
目前几乎所有日本的半导体工厂均已达成零排放,但最初实现零排放的,是N社的熊本工厂。为了进行废弃物的再利用,彻底执行分类回收,使废气酸类、废弃油类、废弃塑胶、废叶石英玻璃再资源化。再资源化的主要用途,除了自己公司内部可进行回收、再生之外,也能成为其他产业的原料。
例如酸类,硫酸能够成为无机物类的凝结剂的硫酸铝的原料、磷酸能够成为磷酸肥料的原料。另外,氟酸/氨混合液能够成为铝的冶金及乳白色玻璃的制造的原料—冰晶石(铝酸钠的氟化物)的原料。
此外,有机物质的光阻、异丙醇(IPA)可以用于助燃剂,而作为去除各种材料成膜蚀刻用光罩功能的光阻的光阻剥离液,则能够再生利用。
至于其他物质方面,将废水中和并进行微生物处理,残余的沉淀物(污泥)可用于水泥原料,金属屑可用于精炼用原料,废弃塑胶可用于助燃剂,Waste(擦拭机械油污用的纱棉)以及废弃油类则可进行热回收。
在烧窑业盛行的地区,石英玻璃可以混在土里,成为烧窑业的原料。
节省能源方面的半导体产业贡献
除了半导体产业本身是环保的循环性产业外,其他产业使用半导体所制造出来的电子设备,也对节省能源及提高效率产生贡献。
由此可以得知,半导体产业能够在涵盖其他产业的前提下,对社会整体具有零排放的贡献。