环境光传感器等。每个 MEMS 器件都是一个独立的小系统。MEMS 传感器主要应用范围如图2-110所示。MEMS 执行器的主要应用范围如图 2-111 所示。

目前 MEMS 传感器在汽车行业，尤其是在 ADAS 智能驾驶辅助系统中应用十分广泛。ADAS 基于不同传感技术，集合了摄像头、雷达、激光和超声波等各式传感器用以探测光、热、压力等，以便通过各种传感器收集到的信息实现智能驾驶辅助的功能。