传感器（Sensor）是一种子系统，它的用途是探测周边环境事件或者物理量变化，并将变化信息采集、变换后传送给其他电子接收设备。按照被测量物理量的不同，传感器分为压力、位移、速度、温度、流量、气体等类别；按照工作原理的不同，传感器分为电阻式、电容式、电感式、压阻式、光电式等类型。传感器发展历史悠久，德国物理学家汤姆斯• 賽贝克（Thomas J. Seebeck)于1821年发明的热电偶（Thermocouple）传感器是最早的传感器。近些年来工业界为了提高生产效率，连续监测生产过程中的温度、压力、物位和流量等参数，并通过中央控制室来控制生产环节，这一应用极大促进了传感器的发展。此外，半导体技术和产业的发展也带动了传感器技术的不断更新， 例如pn结温度传感器、集成温度传感器和半导体热电偶传感器等。通过研究物质与波的相互作用，红外、微波和声学、温度等传感器也相继出现。各类传感器已被广泛应用于工业生产、环境保护、海洋探测、生物工程、医学诊断等领域。

微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System， MEMS) 是指一种微型器件或系统，它一般集微传感器、微执行器、微机械结构等于一体。20 世纪60年代，贝尔实验室（Bell Labs）和霍尼韦尔（Honeywell） 研究中心研发出了第一个硅隔膜压力传感器和应变计。安格尔（Angell)和罗伊兰斯 ( Roylance)于1979 年研发了压阻式微加速度计。亚德诺 （Analog Devices）公司于 1993 年推出了首个采用表面微机械加工技术的全集成硅微加速度计。MEMS 集合了电学系统的采集、处理优势和机械系统的执行、控制优势，通过微型化，开发出各种具有特殊功能的各类新型组件或系统，它涉及多门学科，涵盖多方面的技术，其中包括微电子学、材料学、力学、化学、机械学等学科领域。按照应用领域，微机电技术分为传感 MEMS 技术、生物 MEMS 技术、光学 MEMS 技术及射频MEMS 技术等。微机电系统生产工艺也非常多元化，其制造工艺除传统的光刻、腐蚀、薄膜沉积等工艺外，还融合了硅微加工、非硅微加工以及精密机械加工等技术。

相比传统器件，微机电系统及器件具有微型化、高集成度和易于大批量生产等特点。常见的 MEMS 器件包括硅麦克风、加速度计、陀螺仪、磁传感器、体声波 (Bulk Acoustic Wave, BAW 滤波器)、压力传感器、指纹传感器、距离传感器，