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衰落
然而所有的计划都没有使450mm晶圆成功。自2014年开始G450C联盟出现暂缓研发450mm晶圆的迹象。
英特尔其实是最积极推进450mm的公司。但事不凑巧,G450C期间(2011-2016)刚好是英特尔搞14nm Broadwell的时间,被用到极限的DUV光刻机和复杂的FinFET使得英特尔当时良率非常低,路线图各种延误,没有心思再去关注450mm晶圆。
英特尔在2014年的撤退被认为是450mm晶圆消亡的一个关键时刻。
而无心硬件的IBM把半导体部卖给了格芯,但格芯并没有足够的钱去搞450mm这么大的工程,最后白白损失了一大笔之前的投入。
针对这种情况,SEMI和ISMI(美国国际半导体技术制造协会)于2014年设立了一个EPWG设备生产率工作组,对过渡450mm晶圆问题进行了研究,得出的明确结论是——“此非其时”。
在2014年英特尔退出两年后,台积电也悄悄退出了G450C联盟。
多年以后,在回顾台积电放弃450mm晶圆的原因时,前台积电首席运营官蒋尚义在接受采访时说道:“当年,英特尔是推动转向450mm晶圆的主要推动者,因为它认为这是获得市场优势的另一种方式。18英寸会将业内小玩家挤出市场,巩固巨头地位。
台积电之所以不推广450mm晶圆技术,原因是台积电在300mm晶圆上已成功击败了许多较小的竞争对手,建立了领先优势。但如果到450mm,就会直接与英特尔和三星展开竞争。
英特尔和三星都拥有比台积电更多的工程师,而且还有更多的收入可以利用,这将有助于两家公司在450mm生产上的投资比台积电要多。所以,进军450mm根本不会帮助台积电,反而会占用台积电太多的研发人员,削弱其在其他领域追求技术进步的能力,实际上会对公司造成潜在的伤害。”
整体而言,业界对450mm晶圆进程自开始就有不同的看法,除了上述厂商的犹豫不决和无暇分心之外,其中最为关键的半导体设备供应商,包括如应用材料、ASML等也缺乏积极性,理由是450mm设备不是简单地把腔体的直径放大,而是要从根本上对于设备进行重新设计,因此面临着经费与人力等问题,更多的担心是未来的市场,能否有足够的投资回报率。
当时的ASML也正在EUV光刻机中挣扎,光源效率等问题一直拖后量产的时间表,资金压力使ASML率先宣布退出450mm合作。虽然有尼康的光刻机支持,但是如果450mm整体良率和效率并不能显著提升的话,成本并不会比300mm低。
所以,关于450mm晶圆的声浪看似此起彼伏,但大多数产业链厂商实际上都是雷声大雨点小。