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谈谈没量产的18吋晶圆
来源:半导体行业观察 | 作者:L晨光 | 发布时间: 2022-08-15 | 831 次浏览 | 分享到:


在业界的一致推崇和引导下,2008年英特尔宣布与三星、台积电达成合作协议,将在2012年投产450mm芯片晶圆,预计会首先用于切割22nm工艺处理器。


英特尔相信,从300mm晶圆到450mm的迁移将使每个晶圆的芯片数量增加一倍以上。英特尔、三星和台积电计划与整个半导体产业合作,确保所有必需的部件、基础设施、生产能力都能在2012年完成开发和测试,并投入试验性生产。


这个蓝图被写入到2009和2010年的ITRS(半导体协会技术发展路线图)中,但是2012年的ITRS被重新修改,原定计划目标全部推迟2年。根据2012年ITRS规划,450mm晶圆尺寸生产材料及设备制造商,应当在2013-2014年形成生产能力,并提供相应设备给IDM和Foundry。



在2011年Semicon West会议上,过去一直对450mm规格转换没什么好感的半导体设备厂商,在各方的劝说下,也已经慢慢转变了对其的态度,并做出了一些有实质性意义的转变动作。比如应用材料公司表示将在450mm项目上的投资将超过1亿美元规模;量检具厂商KLA Tencor便推出了其可适用于450mm晶圆的检验用工具Surfscan SP3;450mm晶圆制造用光刻设备的兼容性的问题也有望得到暂时的解决,光刻厂商会推出一些临时的解决方案以应对光刻机与450mm规格晶圆兼容的问题。


也是在这一年,新上任的纽约州州长Andrew Cuomo力主搞个大政绩,邀请芯片五强(IBM、英特尔、格芯、台积电和三星)在纽约州研发下一代芯片技术,大家表态投资44亿美金推进450mm,这就是全球450联盟(G450C),并于美国纽约州Albany设立了450mm晶圆技术研发中心。


450mm联盟成立后,18英寸晶圆世代的技术和机台设备有不少方针已开始确立,是半导体产业迈入18英寸晶圆世代的重要里程碑。这个联盟的关键基础是纽约州立大学理工学院的实力和IBM微电子大本营多年在该州的耕耘,还有纽约州承诺的政府补贴。期间,Cuomo还拉着尼康共同出资3.5亿美元搞450mm浸入式光刻机。


实际上,除了G450C联盟之外,欧盟在更早时候搞过一个EEMI450的合作计划,以色列也搞过一个Metro450,共计三个联盟来推动450mm晶圆的进展,目标是可互用研究结果,减少重复性的实验。


除此之外,半导体制造技术战略联盟(SEMATECH)和国际半导体行业协会(SEMI)等也在推动全球产业链的合作研发,期望晶圆直径的增大牵动整个产业链带来的改变。