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各制程模组件功能分析
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2025-03-17 | 80 次浏览 | 分享到:

前节已提及制造流程是由各模组件所组成,而各模组件均有其各自之功能角色,此功能角色有时会有负面效果产生,述说如下:

1.前处理(Pretreatment):置于所有净化模组之前,此模组须添加适量之化学药剂如 PAC 凝集剂等,将一些较微小之悬浮固体、胶质等凝聚为较大颗粒之固体和胶质,再经由过滤器如矽过滤器、多层过滤器(Multi-Media FilterMMF),以及小于 10μm之滤心过滤,进行粗级粒子、悬浮粒子和胶体粒子之去除。

2.吸附(Adsorption):以吸附剂利用吸附之原理,除去细菌及其腐败分解物等,如活性碳过滤器,唯此并无法绝对去除;若处置不当,反而会有负面效果,成为细菌滋长之源,故在高科技产业一般较不常用。

3.蒸馏(Distillation):加热使水沸腾与杂质分离后再冷凝,对各类之杂质去除相当有效,然高科技产业并无像石化工业有大量之蒸汽可用,其相对运转成本将相当高,故不适合于半导体或光电业使用。

4.曝气(Degasification):曝气亦称脱气,有二种方式:

(1)利用气体溶解度随温度升高或压力降低而减少之原理,以加热方式或抽真空方式而达曝气效果。

(2)利用不活性气体与含溶解气体之液体接触,从而将液体中之溶解气体脱除之原理,般用鼓风机或高压方式将空气甚至氮气通入水中而达脱气效果。

5.去离子化(Deionization):是最有效将水中各种离子不纯物加以去除之方法,系运用离子交换原理,以含氢氧根(OH-)及氢根(H+)之阴、阳离子交换树脂来与溶于水之各种阴、阳离子进行置换。

6.过滤技术:分离之驱动力主要运用压力差,而此驱动力则来自所加之外力,依据其原液(Feed)与透过液(Permeate)之流动方向不同,而得过滤探水。过滤方式区分为全量过滤及交流过滤二种。

(1)全量过滤:依滤材制造不同有以下三种:缠绕式滤心,可过滤3μm以上之粒子;树脂胶合式滤心,可过滤1μm以上粒子;折叠式滤心,可过滤1μm以下到0.02μm之粒子。以上前二项为深度型滤心,第三项则为表面型滤心。当滤心之为粒子阻塞后,压力差将上升,流量(采水量)减少,此时应即更换新滤心。

(2)交流过滤:因其具过滤功能之滤材其厚度皆小于1um,故以薄膜称之。依膜材材质及机能不同而有三类:

1.薄膜过滤膜(Membrane-Filtration MembraneMF),分离粒径可达0.05μm,用以分离悬浮物质、细菌及超微粒子。

2.超过滤膜(Ultra-Filtration MembraneUF),其分离效果达分子范围,以分子量截断量(Molecular Weight Cut OffMWCO)来表示其过滤效果,最细微粒子可达MWCO200,相当于0.001μm,用以分离凝胶粒子、细菌、酵素、病毒及超微粒子。

3.逆透膜(Reverse Osmosis Membrane,RO),分离效果达离子范围,故一般以离子去除率(Rejection Ratio)来表示,最佳可达99%以上,可用以分离醣类、胺基酸等有机物、无机盐类及超微粒子等。

杀菌(Sterilization):杀菌处理方式有二:

(1)物理处理法:有加热煮沸、紫外线照射及超细过滤等。

(2)化学处理法:添加臭氧、氯及其它化合物等。