若整个供应半导体工厂的电源突然断电，会发生非常大的损害。故为了避免落雷或积雪等自然灾害，或是为了进行大规模的工厂内部工程而必须切换电源等状况下的电压变动问题，工厂必须具有适当的对策。

在半导体工厂中，若无法维持无尘室的运转，则无法保持制造上所需要的洁净度。另外，所有的制造装置均由电能驱动。包括制造装置在内的生产系统，均借由电脑网路的情报处理，来进行运用、控制、管理。故为了避免发生在工厂以及相关装置上的电源困扰，必须实施各种对策。

以UPS对应30分钟的停电

代表性的措施有UPS不断电系统（Uninterruptilbe  Power  Supply）。一般的UPS，由将交流电转换为直流电的“整流器”、将直流电转换为所需要频率的交流电的“反相器”、以及蓄电池构成，在30分钟以内的停电或是瞬间停电等意外状况下，可暂时由蓄电池提供备用的电力，并且在平时，也借由反相器，将所提供的电源品质提高，以避免电源相关问题对机器噪成的影响。

在UPS中，大至能够对应大规模系统及设备群的产品，小至能够对应各个设备、电脑、及网路机器等产品，具有各种规模。就能够对负载装置提供定电压、定频的电源的功能来看，亦将之称为CVCF (Constand Voltage &Constand Frenquency)

紧急状况使用的自家发电装置

然而，当停电时间超过UPS能够备用的界线时间的状况下，必须启动设置在工厂内部，燃烧柴油等发电的“自家发电装置”。当然，自家发电装置无法负荷所有的用电。因此，优先顺序设定为，先考虑排除装置等有安全顾虑装置的备用，其次为维持无尘室洁净度的运转。

此外，为了对应因日本核能发电事故等，造成计划停电即节电需求等相关的问题，也为了维持半导体工厂的稳定，有些企业进而加强自家发电装置。