如同加工食品有“赏味期限”或是“消费期限”的定义,使用在半导体(半导体)上的材料也有“品质保证期限”的定义。各个不同的材料,个别的“品质保证期限”由原材料供应商订定,于半导体厂商则透过品质保证系统(QA:Quality Assurance)来遵守。
矽、气体、药液的保证期限
图4-5-1所示为主要材料的品质保证期限。
如图所示的材料中,矽晶圆及溅镀用的各种靶材,即矽(Si)、铝(AI)、钛(Ti)、钨 (W)等,基本上并没有保证期限。因此控营只需要依照交货需求而维持足量的库存,并没有超过某库存期限就无法使用的问题。
至于气体类,其品质保证期限短则六个月、通常为一年。保证期限六个月的气体包括:氨气(NH3)、一氧化二氮(N2O)、乙硼烷(B2H6)、三氯化硼(BCl3)等,其他气体品保期限则为一年。
另一方面,药液的品保期限短者三个月、长者一年、通常则为六个月。品保期限三个月的药液包括感光性聚亚醯胺涂布剂等,品保期限一年的药液包括使光阻与晶圆间的沾黏性提高的HMDS(六甲基二矽氮烷)及稀释剂等。其他光阻液、显影液、或是各种酸类—氟酸(HF)、盐酸(HCI)、硫酸(H2SO4)、硝酸(HNO3)等,其品保期限均为六个月。
这些药液类,均于使用前24小时导入生产线,使其充分与环境融入,方可导入到使用站点。特别是光阻等材料,其黏度等特性会随温湿度不同而有些微变化,故材料制造商的储存条件需与生产线相同。
因此,对大型的半导体工厂定期供应光阻的情况下,材料制造商会在离半导体工厂尽可能近的地方建造保管仓库,使材料能储存于充分控管的环境中,并借由缩短运送到工厂的距离,得以减少因长距离运送引起的容器内壁不纯物(微粒子)掺入到光阻材料内,达到迅速供应高品质材料的目标。