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柔性薄膜晶体管FTFT
来源:整理综合自《集成电路产业全书》 | 作者:Belle | 发布时间: 2022-04-11 | 364 次浏览 | 分享到:

注入,需要选择特定的电极材料和修饰层,以更改金属的功函数,实现良好的能级匹配。电极材料一般用Au作为源漏电极,ITO 或AI作为栅电极,此外还有PEDOT :PSS、石墨烯、Sn02,和ZnO类透明电极材料。


柔性薄膜晶体管与传统半导体器件的最大区别在于其柔性和延展性,这就对材料的力学性能提出了更高的要求,也为未来柔性薄膜晶体管的发展指明了方向。研究的挑战主要包含如下3个方面。

(1)半导体材料方面:合成更加稳定的n型有机半导体材料,从而实现高性能互补逻辑电路。

(2)柔性衬底方面:加快耐腐蚀、耐高温、透明度高、成本低且柔韧性好的衬底材料的研究,以及低温柔性衬底加工技术的实现。

(3)在高介电常数的绝缘层材料寻找方面,要进一步兼顾可低温制备、低成本的要求,提高器件的性能。

图10-59所示为柔性薄膜晶体管阵列。