纯水制造供应系统之整合主要在处理并供应合乎制程所需求品质的最佳经济效益组合。一般而言，系统之设计，各家虽然不同，各有千秋，但其纯化原理则是不变的。纯水制程系统可分为六大部份，各大部份则由各具不同处理功能之模组设备所组成。此六大部份为：（1）前处理（Pretreatment），（2）初级处理（Make up），（3）储存与分配（Storge and Dis- tribution），（4）精制处理（Polishing Treatment），（5）供应及循环管路（LoopPiping）及（6）管路材质与设计（Piping Materials & Design），图2-7为超纯水之制造流程，现就六大部份分述如下：

1.前处理：依水质作化学凝聚、沈降及过滤，并依初级处理之 RO膜材质添加适当化学药剂以保护RO膜之运作。

2.初级处理：结合RO 膜、曝气塔以及紫外线杀菌灯（UV Lamp，254nm 波长），以除去大部份可溶离子、有机物、溶解之二氧化碳、氧及细菌。

3.储存与分配：此系统是以强化玻璃纤维树脂作成之大型储存桶，作为初级处理和精制处理间之缓冲用桶以及循环回路之回收储存桶。

4.精制处理：结合再生型双段离子交换树脂塔，再经滤心过滤少数破裂流失之树脂，经紫外线有机物裂解灯（TOC Reducer UV Lamp，185nm波长），来分解有机物并经254nm UV Lamp 再一次杀菌，最后经不再生型离子交换树脂及超微过滤器（UF）或0.1μm以下之滤心以除去死菌及微粒子，而得超纯水。

5.供应及循环管路：超纯水经配置好的输送管路及回收管路，构成一供应系统而循环使用。

6.管路材质与设计：在纯水系统中，于RO膜之前的输送管线是以C-PVC Sch80为主；在RO 膜之后的供应管则以PVDF（铁氟龙材质）管为主，其中纯水供应管则为较高等级的HP-PVDF；回收管则为一般之PVDF，以期维持良好之水质，并降低初期安装成本，同时为使使用点获得稳定之压力与流量，并减少管路之死点，均采用回路设计。