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可见光面射型雷射
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-12-10 | 324 次浏览 | 分享到:

In0.54Ga0.46P/In0.48(Al0.7Ga0.3)0.52P 应变量子井活性层(strained quantum well active region)作为发光区材料,上下 DBR 则分别由30对和40对四分之一波长厚度的Al0.5Ga0.5As/AlAs 交错排列组成,该面射型雷射可以在室温下以光激发光操作,发光波长为657nm[30]。随后在1993年发表的论文中[31],他们同样采用砷化镓基板成长55.5 对n型DBR(Si 掺杂浓度2×1018cm-3)和36对p型DBR(C掺杂浓度 4×1018cm-3),每一对 DBR 由四分之一波长厚度的Al0.5Ga0.5As/AlAs交错排列组成且介面处为10nm 厚铝含量莫耳分率 0.75 的渐变层,以减低 DBR的串联电组。发光区厚度为8 倍发光波长(8入 cavity),主要由InAlGaP 组成的步进式渐变能障分布局限异质接面结构(step graded-barrier separate confinement heterostructure, SCH)包围着中央三层厚度各为 10nm 的InGaP 应变量子井结构所组成,元件经过 BCl3电频蚀刻形成直径20微米柱状结构并完成上下金属电极制作后,可以在室温下脉冲电激发光操作,发光波长在639~661nm 之间,发光波长650nm 的元件阈值电流大小为30mA,最高输出功率超过3.3mW且远场发散角仅为 6.5°。

台湾交通大学黄凯风教授和戴国仇教授的研究团队也在1993年发表红光面射型雷射电激发光的成果[32],该团队同样采用MOCVD成长磊晶结构,发光层由四对In0.5Ga0.5P(80A)/In0.5Al0.35Ga0.15P(60A)量子井结构所组成且位于等效1个波长厚度的共振腔(1入cavity)中央位置,上下 DBR 分别为30对zn 掺杂(p型)和40对Si掺杂(n型)的Al0.5Ga0.5As/Al0.75Ga0.25As/AlAs /Al0.75Ga0.25As依序交错排列组成,每层厚度分别为375A100A435A