在高科技产业上，纯水用于制程阶段的湿制程（Wet Process）上，由于在湿制程处理过程中所使用之水质，关系着产品之品质，其利用纯水去除杂质及防止晶片或玻璃上形成氧化膜，故如果水质不良，非但不能去除不必要之杂质，且会造成产品之污染而影响品质。概括之，纯水在高科技产业之功能如下：

1.去除沉积物

2.防止金属离子污染

3.防止有机物质污染

4.防止氧化物之污染

5.增加产品表面之整齐

6.增加产品表面之平滑

7.去除产品表面的微尘粒子及附着物

在医学方面，生理食盐水、注射溶液、清洗伤口溶液，由于其要求无菌、无杂质的品质，故目前已使用较经济且品质亦符合需求薄膜逆渗透原理所产之纯水来取代成本昂贵且产量受限之蒸馏法，以符所需。

在食品和研究实验方面，纯水亦做为饮料溶液之来源、食品之清洗、化合物之制备、浓度之调配液、培养皿之培养液和组织切片之研究、冲洗器皿等。