盖的金刻蚀掉。

M-NIL技术的优点是快速、廉价，不需要超净环境，对表面的平整度也没有严格的要求，还能适合多种不同的材料表面。该技术的缺点是受到湿法刻蚀技术的限制，使印出的图形变宽，这只能通过优化工艺参数，包括优化模具上的试剂量及分布，来控制扩散带来的负面效应。