）：此系统之功能在于提供气体供应系统之即时资讯，此资讯包括了流量、压力、各周期日报表，历史供应曲线、品质状况等，是对厂务运转人员相当有帮助且重要的资讯来源，其系统架构如表4-5所示。

5.危险性气体监控系统（Toxic Gas Monitoring System）：此系统之目的在监视气体供应过程中有否泄漏或不正常现象发生，以便极早通知管理工程师做紧急之处置，免于危险之发生，是为气体供应统中，人员生命的把关者，也是不可欠缺的系统之一，此系统将在后面之章节中再述之。

6.废气处理系统（Dry Local Scrubber）：废气处理系统之设置目的是在处理更换钢瓶时所排放出来之残留气体，或是气体供应室之钢瓶有泄漏现象时之紧急处理用途，是属于安全和环保之处理系统。

7.高等级气体供应管线：此管路是为气体供应至制程设备之输送管道。管线需考量输送之距离，距离愈长，成本愈高，风险也越高。由于扩充性之不易，故需预留适当之阀组。流速设计一般气体为20c.c/sec，可燃性气体则为<10c.c/sec，腐蚀性和毒性气体为<8c.c/sec，故一般之管路尺寸为1/4"～3/8"最多。气体管在惰性和腐蚀性之气体中使用者为一般之单层管；而具爆炸性和剧毒性之气体如SiH₄、PH₃、AsH₃则使用双层管，而管路材质之选用，在特殊气体和经精制后之大宗气体则使用SUS316LEP 管（Electro-Polish电解研磨抛光），而与晶片或产品直接接触但不参与制程反应之气体如GN₂（General 
N₂）和CDA，则使用SUS316LBA（Bright Anneal 光辉烧结）管；另一种未经特殊处理的AP管（Annealing & Picking）则用于双层管之外套管。此处所用双层管之目的在于保护内管避免直接受到外力撞击和将由内管渗漏之气体阻绝于外管，并利用检知仪器进行侦测。

8.厂务供应配合系统：厂务供应配合系统指的是于气体供应室内所安装设置的排气管、氮气管、消防系统、防爆电气系统、冷气空调和面罩式空气管等，这些系统均是供应室运转所需或是安全性器材。

9.气体钢瓶储存室：此储存室是置放备用气体和已用完气体钢瓶之处，其一般依气体性质之不同而分别置放，实瓶和空瓶分开，此室因基于安全因素，大都另辟空间设置，尤其是厂区角落远离厂房之地区为最常选用点，防爆门和墙，较脆弱性屋顶层结构和完善的消防设施系统是为考虑重点和必备条件。