若要获得更大的波长可调范围因应密集分波长多工（dense wavelength divisionmultiplexing, DWDM）的需求，利用微机电方式制作可动式机械结构以调整共振腔长度获得特定波长输出成为较可行的方案。常瑞华教授团队率先在1995年实现微机电调整共振腔长度的可调波长面射型雷射元件，采用悬臂（cantilever） 式上反射镜结构可以在施加 5.7V 的偏历下达到 15nm 波长可调范围［54］，稍后史丹佛大学J,S. Harris 教授团队也同样在GaAs 基板上达成类似的波长可调面射型雷射元件，采用悬空的薄膜（membrane）式 Au/SiH_xH_y/GaAs上反射镜，可以在20.5V 镜面偏压下达到 17.9nm 波长可调范围［55］。1999 年美国 CoreTek 公司研究团队发表利用半对称共振腔（half-symmetric cavity）悬空薄膜反射镜结构，980nm 激发光源照射下可以发出1.55微米雷射光输出，功率可达2mW，且薄膜镜面在0~39V 偏压范围下可以使输出雷射波长从 1564nm 缩短到1514nm，波长可调范围达 50nm［56］。此时已经有上述研究团队成立公司专门从事可调波长面射型雷射研发生产，正式将长波长面射型雷射商品化。