图5-57b所示 测量Rs_PAA 和 Rs_PAA_SAB 的示意图。测量p型AA方块电阻的基本原理是在电阻的一端和衬底加载电压DC电压1V，另一端接地，从而测得电流I_p，RS_PAA =（1/I_p） （L/W），W和L分别是AA 方块电阻的宽度和长度。

影响AA方块电阻的因素包括以下几方面：

1）n+和p+离子注入异常；

2） AA 刻蚀尺寸异常；

3）硅金属化（Salicide）相关工艺。