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Poly 方块电阻的测试条件-----《集成电路制造工艺与工程应用》 温德通 编著
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-11-28 | 343 次浏览 | 分享到:

Ip) (L/W),W和L分别是Poly 方块电阻的宽度和长度。

影响 Poly 方块电阻的因素包括以下3方面:

1) n+和p+离子注入异常;

2) Poly 刻蚀尺寸异常;

3)硅金属化(Salicide)相关工艺异常。