启闳半导体科技(江苏)有限公司QiHong Semicon TECHNOLOGY (JIANGSU) CO.,LTD
Ip) (L/W),W和L分别是Poly 方块电阻的宽度和长度。
影响 Poly 方块电阻的因素包括以下3方面:
1) n+和p+离子注入异常;
2) Poly 刻蚀尺寸异常;
3)硅金属化(Salicide)相关工艺异常。