WAT数据有很多方面的用途，把它归纳为以下七大类：
第一，WAT 数据可以作为晶圆产品出货的判断依据，对晶圆产品进行质量检验。所有的WAT数据必须符合电性规格要求，否则不允许出货给客户。
第二，对WAT数据进行数理统计分析。通过收集 WAT数据，获取工艺技术平台生产线的工艺信息，检测各个 WAT参数的波动问题，评估工艺的变化的趋势（如最近一段时间某一技术平台 MOS 晶体管 Vt的数值按生产时间排列是否有逐渐变大或者变小趋势），从而可以对工艺生产线进行预警，还可以通过分析特定的 WAT参数的数据得知相关工艺步骤的工艺稳定性。
第三，通过特定的 WAT 测试结构监测客户特别要求的器件结构，检测它们是否符合电性规格要求。
第四，通过 WAT 数据对客户反馈回来的异常晶圆产品进行分析。对 WAT数据与良率（CP）做相关性，可以得到每个 WAT参数与CP 的相关性，再检查相关性最强的WAT参数的相关工艺情况，这样可以快速找出有问题的相关工艺步骤。
第五，代工厂内部随机审查晶圆的可靠性测试（金属互连线电迁移和栅氧化层的寿命等）。
第六，为器件工艺建模提供数据，通过测试不同尺寸器件的 WAT 参数数据，进行器件建模。
第七，测试和分析特定的WAT测试结构，改善工艺，或者开发下一代工艺技术平台。
