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金属层1工艺-----《集成电路制造工艺与工程应用》 温德通 编著
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-11-14 | 204 次浏览 | 分享到:

14）清洗。首先利用NH4OH和H2O清洗，再使用 HF:H2O（100:1）清洗，最后用超纯净水清洗，得到清洁的表面。