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薄膜制造法、堆叠法---薄膜堆叠制造
来源: | 作者:LiLi | 发布时间: 2024-04-09 | 330 次浏览 | 分享到:

图2-6-5呈现铜电解电镀装置的构造模型。将晶圆浸泡于硫酸铜等电镀液中，将晶圆做为阴极，铜板做为阳极，再通过电流，则铜会析出，附着在晶圆表面上。