据存储、高频谐振器等方面。敏感机理主要包括纳米材料与纳米结构的电阻响应、频率响应、荧光特性、磁响应特性等多种物理机制。例如，在 50μmx6μmx0.17μm 的硅悬臂梁 (Cantilever）末端固定一簇碳纳米管来吸附氢气。该悬臂梁采用静电激励谐振，通过测量该器件在10⁻⁷Pa 真空中的谐振频率变化可进行微小质量检测。采用反馈电路控制，该悬臂梁的谐振频率可达 1MHz，器件在真空中的品质因数高达 50 000，分辨率为 5×10⁻¹⁸g。如此高的质量检测分辦率，相当于可以检测到 150 万个氢气分子。