工艺微缩是集成电路制造技术发展的最重要的特征之一。集成电路（又称芯片）是将微型化的晶体管、电阻器（简称电阻）、电容器（简称电容）、电感器（简称电感）等元器件，以及器件之间的互连线，通过半导体工艺集成在晶片表面上的具有特定功能的电路，因此集成电路与工艺微缩密不可分。