随着工艺技术的发展，影响寄生参数的工艺条件日益增多，三维结构日趋复杂，对寄生参数提取提出了更高的要求。同时，电路规模日益庞大对于寄生参数提取工具的速度和精度要求更高。寄生参数模型已经相当复杂，必须考虑多种因素组合才能得到较好的计算精度。特别在FinFET工艺下，由于器件结构与传统工艺相比存在很大差异，对寄生参数提取工具也提出了新的挑战。