随后，系统越来越复杂，工作频率不断升高，分立器件的一致性难以满足系统要求。1976年，使用GaAs工艺的7~ 12GHz微波集成电路的研发，开启了该领域的新时代。采用GaAs或InP工艺的微波毫米波集成电路广泛应用于卫星通信、雷达等。2000年以后，美国、日本、韩国等相继开放了57~64GHz频段，欧洲开放了77GHz频段，进一步促进了基于CMOS工艺的单片微波毫米波集成电路的研究。

目前，低于10GHz频段的频谱资源日渐枯竭，而微波毫米波频段可以提供更多的未分配频谱资源，因此，无线系统的工作频段将逐步向高于60GHz的微波中高频段发展。而工艺技术的进步，为这种发展提供了技术支撑，其中CMOS工艺速度不断提高，结合其高集成度的特点，面向微波毫米波集成电路的CMOS工艺技术将得到更快的发展。