​启闳半导体科技(江苏)有限公司QiHong Semicon TECHNOLOGY (JIANGSU) CO.,LTD

电子邮箱  
密码      忘记密码?
  注册
板级埋入式封装工艺流程与技术,板級嵌入式封装製程与技術
来源: | 作者:Viki | 发布时间: 2023-05-09 | 662 次浏览 | 分享到:

基板制作过程中进行板级封装的键合或倒装工艺来实现,在基板工艺中直接完成封装,简化从基板到封裝的过程。

(2)用电镀铜直接实现芯片与基板布线的互连,缩短了互连导线的路径,有效减小了寄生值,对于高频信号具有更好的射频性能,对于音频信号具有更优的信号质量,对于数据传输具有更快的速度。

(3)由于芯片或元件被有效地植入基板内层中,因此释放了基板表面的空问,给进一步实现 了D 堆香提供了空间,更容易实现系统级模组封装,如图7-107 所示。图7-108 所示的是埋入式3D堆香封装结构。芯片埋人后,为大电感器件留出了堆香空间,使了D堆叠结构更易实现。图7-109 所示的是元器件板级3D 堆香图,图7-110所示的是板级埋入式封装整板包封效果图。

基于板级埋入式封装特有的结构及性能优势,目前其主要应用领域集中在模拟类射频及电源产品方面。如RF-IPD、DC/DC 转换器、RFID、MOSFET、小型IC驱动、多芯片系统级模组封装等。

根据埋入器件是正面朝上(Face Up)还是正面朝下 (Face Down),基板与器件互连时是先钻孔再电镀铜还是先电镀铜再研磨,以及带载板单面电镀或无载板双面同时电镇等不同的组合方式,埋入式封装工艺的实现方式多种多样,但其主要的工艺流程基本相似,如图 7-111 至图7-114 所示。以芯片面朝下带载板单面电镀铜柱再研磨的方式为例,其主要工艺流程为:光刻电镇线路光刻电镀连接铜柱贴装芯片或元件压合绝缘材料研磨露出铜柱光刻电镀再布线层压合绝缘材料研磨露出外引脚去除载板及表面处理。